Лицензии и сертификаты
Патент № 174672
Наименование: «Устройство измерения статических параметров полупроводниковых приборов»
Срок действия истекает 18 апреля 2027 г.
Патент № 2572503
Наименование: «Способ осаждения монокристаллической пленки кубического нитрида бора на полупроводниковую кремниевую подложку»
Срок действия истекает 19 июня 2029 г.